中国囤积343台浸没式深紫外光刻机
By: www.scmp.com|2026/10/03 13:23:39
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中国半导体工厂近年囤积约343台浸没式深紫外光刻系统,价值数十亿美元。Centre for Technology & Statecraft于2026年8月成立,9月下旬发布的报告由前美国出口管制官员Nicholas Brown与前白宫及商务部技术政策顾问Saif Khan共同撰写。报告估计,其中约270台为阿斯麦Twinscan NXT:1980i。这些设备虽落后于极紫外光刻机,但可改造用于制造7纳米级逻辑芯片及人工智能处理器。中国晶圆厂2024年花费逾130亿购入约90台NXT:1980i,2025年又购入89台。阿斯麦披露,中国占其净系统销售额比例2024年为41%、2025年为33%,2026年第一季度降至19%、第二季度降至14%。荷兰自2023年9月起对NXT:2000i及更先进浸没式深紫外设备要求出口许可,禁止运往中国;一年后许可要求扩展至NXT:1980i,但该型号仍可个案批准出货。
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